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近年来,随着IT技术的进步,半导体的集成度年年增加,纳米级晶片的加工技术和检验技术也越来越重要.在传统的半导体晶片的加工和检验中使用的是激光技术,为了适应高密度化,目前正在开发使用波长更短的电子束的半导体制造设备.
非磁性耐蚀钛合金轴承
【摘 要】
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近年来,随着IT技术的进步,半导体的集成度年年增加,纳米级晶片的加工技术和检验技术也越来越重要.在传统的半导体晶片的加工和检验中使用的是激光技术,为了适应高密度化,目前
【出 处】
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稀有金属快报
【发表日期】
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2005年1期
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