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微机电系统（MEMS）是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术，具有多样性、边缘性和综合性的特点，在信息、环境检测、生化分析、自动控制、航空航天和国防等领域有着极为广阔的应用前景，同时MEMS技术又是一种使能技术（enabling technology),MEMS只有在制成装置或在系统中应用后，才能真正体现它的高附加效益并形成现实市场，MEMS技术的进步为相关行业实现跨越式发展提供了机遇。“十五”863计划MEMS重大专项的实施，将会造就一批高水平的人才队伍，逐步建立起中国自己的研发体系；拥有自主知识产