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根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近。本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改变陀螺仪的结构参数,使它的固有频率接近,达到优化设计目的。
一种微机械陀螺仪仿真分析
【摘 要】
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根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近。本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改
【机 构】
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北京工业大学微机电研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2006年S1期
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