强束流脉冲Ta离子注入H13钢的背散射分析

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【摘要】

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利用从金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流Ta离子,进行Ta离子注入钢的材料改性研究.研究结果表明,在离子注入剂量为5×1017cm-2,平均束流密度为40μA@cm-2,加速电压为42 k

【作者】

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杨建华

【机构】

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南通工学院基础部

【出处】

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南通工学院学报(自然科学版)

【发表日期】

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2002年2期

【关键词】

：

强束流脉冲 TA 离子注入 H13钢背散射钽离子 RBS ion implantation H13steel

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利用从金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流Ta离子,进行Ta离子注入钢的材料改性研究.研究结果表明,在离子注入剂量为5×1017cm-2,平均束流密度为40μA@cm-2,加速电压为42 kV下,Ta离子注入能在钢表面形成厚达80m的合金层.借助卢瑟福背散射(RBS),我们发现表面合金层中Ta的原子百分浓度在15%以上.

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