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采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.
基于UV—LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术
【摘 要】
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采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于1
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
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2005年14期
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