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本文从电学角度对阳极键合的结合机理进行解释,键合原因就是在外加电压作用下,介质极化,产生一个强大的电场,在强电场作用下,离子迁移、扩散形成键合,键合电路可以简化成一个RC回路.
阳极键合的电学分析
【摘 要】
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本文从电学角度对阳极键合的结合机理进行解释,键合原因就是在外加电压作用下,介质极化,产生一个强大的电场,在强电场作用下,离子迁移、扩散形成键合,键合电路可以简化成一个
【机 构】
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辽宁工程职业学院
【出 处】
：
中国高新区
【发表日期】
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2018年2期
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