【摘 要】
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采用磁控溅射技术在聚二甲基硅氧烷（PDMS）上制备金属褶皱结构,有效地解决了柔性结构发生形变时电阻值发生较大改变甚至失效的问题.研究了不同溅射时间对金属褶皱结构周期及高度
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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采用磁控溅射技术在聚二甲基硅氧烷（PDMS）上制备金属褶皱结构,有效地解决了柔性结构发生形变时电阻值发生较大改变甚至失效的问题.研究了不同溅射时间对金属褶皱结构周期及高度的影响,并对金属褶皱结构的电学性能进行测试.利用原子力显微镜分析表征柔性衬底上金属褶皱结构的表面形貌,利用数字万用表进行样品表面电阻值的测量.测试结果表明：随着溅射时间的增加,金属褶皱结构的周期和高度都呈增大趋势,电阻增长率变得缓慢,对信号的响应程度也越来越小.
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