【摘 要】
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用化学溶液沉积法在Ｓｉ衬底上制备了Ｌａ０．５Ｓｒ０．５ＣｏＯ３(ＬＳＣＯ)导电薄膜．Ｘ－射线衍射结果表明退火温度６００℃可以使ＬＳＣＯ薄膜晶化,薄膜没有明显的择优取向并呈单一的钙钛矿相．原子力显微镜研究结果表明ＬＳＣＯ薄膜表面平整、
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点
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用化学溶液沉积法在Ｓｉ衬底上制备了Ｌａ０．５Ｓｒ０．５ＣｏＯ３(ＬＳＣＯ)导电薄膜．Ｘ－射线衍射结果表明退火温度６００℃可以使ＬＳＣＯ薄膜晶化,薄膜没有明显的择优取向并呈单一的钙钛矿相．原子力显微镜研究结果表明ＬＳＣＯ薄膜表面平整、无裂纹及晶粒尺寸较大．用椭偏光谱仪测量了波长３００~１７００ｎｍ范围内ＬＳＣＯ薄膜的椭偏光谱．用适当的拟合模型进行拟合,获得了ＬＳＣＯ薄膜的光学常数(包括折射率,消光系数,吸收系数等)谱．
La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO) conductive thin films were deposited on Si substrates by chemical solution deposition. X-ray diffraction results show that the annealing temperature 600 ℃ can make LSCO film crystallization, the film has no obvious preferred orientation and a single perovskite phase. Atomic force microscopy results show that LSCO film surface smooth, no cracks and larger grain size. The ellipsometry of LSCO thin film with wavelength of 300 ~ 1700nm was measured by ellipsometry. The optical constants (including refractive index, extinction coefficient, absorption coefficient, etc.) spectra of LSCO films were obtained by fitting with suitable fitting models.
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