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采用ＩＳＧ工艺，在氧化铝陶瓷基片上合成ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜，研究了溶胶性能和溶胶－凝胶的晶化过程，分析了薄膜的形成及结构。结果表明，ＳｒＯ－ＴｉＯ２复合氧化物系统由凝胶向的单一的立方ＳｒＴｉＯ３相，ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜晶粒为１０ｎｍ左右。
ISG工艺合成SrTiO3纳米粒子薄膜
【摘 要】
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采用ＩＳＧ工艺，在氧化铝陶瓷基片上合成ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜，研究了溶胶性能和溶胶－凝胶的晶化过程，分析了薄膜的形成及结构。结果表明，ＳｒＯ－ＴｉＯ２复合氧化物系统由凝胶向的单一的立方ＳｒＴｉＯ３相，ＳｒＴｉＯ３陶瓷薄膜晶粒为１０ｎｍ左右。
【机 构】
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天津大学材料学院
【出 处】
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天津大学学报：自然科学与工程技术版
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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国家基金重大项目资助! (5999552 0 - 6),,863计划新材料领域项目资助! (715- 0 12 - 0 150 )
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