【摘 要】
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针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种MEMS安全起爆芯片,包括Ni-Cr微加热器层、绝缘层、导线控制层.采用共聚焦显微镜、原子力显微镜、台阶仪对MEMS安全起爆芯片的形貌、表面粗糙度、厚度进行了表征分析,并进行了安全发火性能测试,测试结果表明:MEMS平面开关可以实现通断转换,安全起爆芯片的全发火电流为0.8 A,全发火电压7 V,作用时间22μs.MEMS安全起爆芯片能够提高本质安全性,可以为MEMS火工品提供技术支撑.“,”Aiming at the safety problem of
【机 构】
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陕西应用物理化学研究所,陕西 西安710061
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针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种MEMS安全起爆芯片,包括Ni-Cr微加热器层、绝缘层、导线控制层.采用共聚焦显微镜、原子力显微镜、台阶仪对MEMS安全起爆芯片的形貌、表面粗糙度、厚度进行了表征分析,并进行了安全发火性能测试,测试结果表明:MEMS平面开关可以实现通断转换,安全起爆芯片的全发火电流为0.8 A,全发火电压7 V,作用时间22μs.MEMS安全起爆芯片能够提高本质安全性,可以为MEMS火工品提供技术支撑.“,”Aiming at the safety problem of MEMS low-energy pyrotechnics,this paper designs a MEMS safety deto-nation chip based on the MEMS switch,including Ni-Cr micro heater layer,insulation layer and circuit layer. Physi-cal characterization,simulation analysis and safety ignition performance test were carried out. The experimental re-sults display that the MEMS switch realizes on-off conversion successfully. Accordingly,the safety ignition chip im-proves the ignition safety while firing reliably at low energy,and the full ignition current is 0.8 A,the full ignition voltage is 7 V,the action time is 22 μs. It provides effective support for the safety technology of MEMS low-energy pyrotechnics.
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