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本文从半导体专用设备的系统特点出发,依据系统工程的研究方法和机电一体化工程的主体思想,提出了半导体专用设备的多元一体化工程体系。并在此基础上对多元一体化的工程体系、结构及技术特点进行了初步探讨。
半导体专用设备的多元一体化工程与技术初探
【摘 要】
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本文从半导体专用设备的系统特点出发,依据系统工程的研究方法和机电一体化工程的主体思想,提出了半导体专用设备的多元一体化工程体系。并在此基础上对多元一体化的工程体系
【机 构】
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机电部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1991年1期
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