【摘 要】
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介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
The overall design of the b
【机 构】
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介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
The overall design of the bifocal interferometer spherical micro profiler is introduced. The design of the scanning workbench and the focusing system is analyzed in detail. The practical examples of the spherical profiler are given.
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