非掺半绝缘GaAs单晶的垂直梯度凝固生长

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linchenxu
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研究了非掺GaAs半绝缘单晶的液封垂直梯度凝固法(VGF)生长技术,解决了Si沾污和C浓度的控制问题,得到了直径2英寸非掺半绝缘低位错单晶。测试表明:该单晶的位错密度较LEC单晶下降近一个数量级,电学参数与LEC单晶类似,接近国外VGF单晶的参数指标。 The technology of liquid-filled vertical gradient solidification (VGF) growth of non-doped GaAs semi-insulating single crystal was studied to solve the control problem of Si contamination and C concentration. A 2-inch diameter non-doped semi-insulating low dislocation single crystal was obtained. The results show that the dislocation density of the single crystal is about one order of magnitude lower than that of the LEC single crystal. The electrical parameters are similar to those of the LEC single crystal and close to the parameters of the foreign single crystal VGF.
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