一种双轴电容式微机械加速度计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cnyy20

【摘要】

：

提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式．采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦，且结构稳定性好，以梳齿电容实现差动的静

【作者】

：

任杰樊尚春

【机构】

：

北京航空航天大学仪器学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

微机电系统微机械加速度计有限元分析 MEMS （micro-electro-mechanical systems） micro-mechanical ca

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提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式．采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦，且结构稳定性好，以梳齿电容实现差动的静电驱动、电容检测．利用MATLAB软件对敏感结构参数、性能参数进行了计算、分析，用ANSYS仿真软件对敏感结构进行了静态和模态分析，从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性．

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