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问:为什么你们的论文会在IEDM 2006上得到很高的评价?rn东芝:关于45nm工艺,迄今为止在晶体管、布线及光刻技术的每一方面都发表了许多论文.rn
东芝、索尼、NEC电子公司45nm工艺开发人员访谈录
【摘 要】
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问:为什么你们的论文会在IEDM 2006上得到很高的评价?rn东芝:关于45nm工艺,迄今为止在晶体管、布线及光刻技术的每一方面都发表了许多论文.rn
【机 构】
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《日经电子》编辑部《日经微器件》编辑部;
【出 处】
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电子设计应用
【发表日期】
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2007年4期
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