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以卤化剂和海绵钛为原料，采用特殊的工艺设备，利用化学气相沉积（CVD）法制备高纯钛。对高纯钛设备过程中Mn的行为进行了热力学分析；在卤化源区73．15K～973．15K条件下，杂质元素Mn与I形成MnI2；在沉积区温度1400K～1650K条件下，MnI2不发生分解，可以抑制杂质元素Mn的污染；文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析。