【摘 要】
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掩模投影成像干涉光刻技术以在很小或几乎不增加光刻系统成本的基础上来提高光刻分辨率为目的，充分利用系统的有限孔径，将掩模图形不同的空间频率分别进行传递，最终以高分辨率对
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国工程物理研究院电子工程研究所
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掩模投影成像干涉光刻技术以在很小或几乎不增加光刻系统成本的基础上来提高光刻分辨率为目的，充分利用系统的有限孔径，将掩模图形不同的空间频率分别进行传递，最终以高分辨率对掩模成像。本文阐述了IIL的基本原理，介绍了一种实验系统，并给出了部分模拟和实验结果。研究结果表明，掩模投影成像干涉光刻技术比传统投影光刻能够得到更高的光刻分辨率。
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