双频激光在超精孔径测量中的应用

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一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统,采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局,在8mm~50mm的范围内实现0.01μm的分辨力和0.1μm的测量精度.该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中.
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