论文部分内容阅读
采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制作了不同浓度Al掺杂的ZnO∶Al薄膜（AZO）。采用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、光致发光（PL）、反射光谱（Res）、四探针测试仪等测试了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的表面形貌、晶体结构和光学、电学性能。SEM结果表明低掺杂浓度时AZO表面致密,随着Al浓度的增加薄膜表面孔洞增多,平整度降低。XRD结果表明当nZn/nAl物质的量比为100∶5时,AZO薄膜为c轴择优取向纤锌矿结构。PL谱结果表明不同浓度的Al掺杂AZO薄膜具有近带边紫外发射和深能级发射两个