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在国家“863”计划支持下，山东大学晶体材料国家重点实验室依靠2英寸碳化硅单晶小批量产业化基础，利用理论计算，对大直径单晶的温场进行模拟，不断试验优化设计，最终在2000℃高温和真空的环境下，成功生长出3英寸碳化硅单品。
3英寸碳化硅单晶成功研制
【摘 要】
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在国家“863”计划支持下，山东大学晶体材料国家重点实验室依靠2英寸碳化硅单晶小批量产业化基础，利用理论计算，对大直径单晶的温场进行模拟，不断试验优化设计，最终在2000℃高温和
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2007年6期
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