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栅氧厚度对PROM中存储单元性能影响仿真
栅氧厚度对PROM中存储单元性能影响仿真
来源 :科技通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq104397622
【摘 要】
:
研究了栅氧厚度对反熔丝PROM中存储单元性能的影响。通过改变仿真模型中栅氧层的厚度,研究了存储单元的击穿电阻等的性能的变化趋势。仿真结果表明,栅氧厚度减薄可有效提升存
【作 者】
:
邱恒功
邓玉良
裴国旭
杜明
李晓辉
彭锦军
【机 构】
:
深圳市国微电子股份有限公司
【出 处】
:
科技通报
【发表日期】
:
2013年8期
【关键词】
:
反熔丝
PROM
栅氧厚度
antifuse PROM storage unit gate-oxide
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研究了栅氧厚度对反熔丝PROM中存储单元性能的影响。通过改变仿真模型中栅氧层的厚度,研究了存储单元的击穿电阻等的性能的变化趋势。仿真结果表明,栅氧厚度减薄可有效提升存储单元的读取速度,但会降低晶体管的可靠性和使用寿命。
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