【摘 要】
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一、引言介质膜在半导体器件工艺中起着十分重要的作用,它的结构、化学性质和电学特性已成为改进器件性能与可靠性的关键。问题不仅在于工艺上精确地控制介质膜的性质,而且
【机 构】
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陕西微电子学研究所,陕西微电子学研究所,
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一、引言介质膜在半导体器件工艺中起着十分重要的作用,它的结构、化学性质和电学特性已成为改进器件性能与可靠性的关键。问题不仅在于工艺上精确地控制介质膜的性质,而且也在于鉴定它的质量和确定其不完整部分存在的位置、数量和性质(其不完整性可能是膜中的
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