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设计开发了一台微细电解加工装置。该装置采用龙门固定式结构，具有高精密的压电陶瓷微动工作台，可通过CCD观察整个加工过程；在宏微结合的驱动控制下，可进行各种微细孔、微细轴以及复杂微细结构的高精度微细电解加工。
三维微细电解加工装备的研制与开发
【摘 要】
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设计开发了一台微细电解加工装置。该装置采用龙门固定式结构，具有高精密的压电陶瓷微动工作台，可通过CCD观察整个加工过程；在宏微结合的驱动控制下，可进行各种微细孔、微细轴以
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院,香港理工大学工业与系统工程系
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2007年10期
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