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根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案，比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果，给出了其相对测量误差，并分析了误差的主要来源。该方法速度快，精度高，有推广和应用的价值。
衍射光强取样分析法测定划痕宽度:实验部分
【摘 要】
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根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案，比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果，给出了其相对测量误差，并分析了误差的主要来源。该方法速度快，精度高，有推广和应用的价值。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1998年18期
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