【摘 要】
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室温下利用直流磁控溅射法在有ZnO缓冲层的柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌（ZnO∶Zr）透明导电薄膜,研究了厚度对ZnO∶Zr薄膜结构及光电性能的影响
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室温下利用直流磁控溅射法在有ZnO缓冲层的柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌（ZnO∶Zr）透明导电薄膜,研究了厚度对ZnO∶Zr薄膜结构及光电性能的影响。结果表明,ZnO∶Zr薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜。实验获得ZnO∶Zr薄膜的最小电阻率为2.4×10^-3Ω·cm,其霍尔迁移率为18.9 cm^2·V^-1·s^-1,载流子浓度为2.3×10^20cm^-3。实验制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光平均透过
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