不同规格的SiC晶须的生长工艺及机理

来源 :中国矿业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lqzhou
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本研究采用固相合成法,利用稻壳作原料,在前期工作的基础上,通过改变反应气氛和催化剂的用量生长了三种规格(直径分别为:0.2-0.8μm,0.5-1.5μm,3-5μm)的SiC晶须,并且晶须直径均匀,表面光滑,分析了有、无氢气参与反应的两种机理,提出了改变工艺条件对晶体生长过程中横向增厚的控制作用。
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