【摘 要】
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本文报导了我们自行设计和制造的不锈钢高压室式、微处理机控制的高压氧化系统,及其基本结构、主要技术参数和某些工艺结果。
This article reports the high pressure oxid
【机 构】
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北京半导体器件研究所,北京半导体器件研究所,北京半导体器件研究所
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本文报导了我们自行设计和制造的不锈钢高压室式、微处理机控制的高压氧化系统,及其基本结构、主要技术参数和某些工艺结果。
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