【摘 要】
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1.前言在设计集成电路、大规模集成电路时,关系到简便化、高速化及器件的超高密度的多层布线的研究在国内外均很重视。目前,把常用的钼单层布线应用于多层布线时,由于物理化
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1.前言在设计集成电路、大规模集成电路时,关系到简便化、高速化及器件的超高密度的多层布线的研究在国内外均很重视。目前,把常用的钼单层布线应用于多层布线时,由于物理化学的和电气性质的不稳定而给可靠性带来了许多问题,它的适用性看来还有问
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