【摘 要】
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文中讨论了硅外延反应器的部件:功率源、通风柜、反应管几何尺寸、气流控制及自动控制等。详述了反应管几何尺寸对反应器性能的影响,并对用闭环自动气流控制的全自动外延反应
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文中讨论了硅外延反应器的部件:功率源、通风柜、反应管几何尺寸、气流控制及自动控制等。详述了反应管几何尺寸对反应器性能的影响,并对用闭环自动气流控制的全自动外延反应器作了描述。
The article discusses the silicon epitaxial reactor components: power source, fume hood, reaction tube geometry, air flow control and automatic control. The effect of reactor geometry on reactor performance is described in detail, and an automatic epitaxial reactor controlled by closed-loop automatic gas flow is described.
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