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报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管（SHBT）．由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生，发射极尺寸为2μm×12．5μm的InPHBT的截止频率达到了178GHz．这种器件对高速低功耗的应用非常关键，例如OEIC接收机以及模拟、数字转换器。
基极微空气桥和发射极空气桥的InP／InGaAs HBT
【摘 要】
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报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管（SHBT）．由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生，发射极尺寸为2μm×12．5μm的InPHBT的截
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2007年2期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划（批准号：2002CB311903）及中国科学院创新基金（批准号：KGCX2.107）资助项目
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