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以正硅酸乙酯（TEOS）、蔗糖、无水乙醇等为原料，通过溶胶-凝胶、微波碳热还原的方法合成SiC超细粉。研究了合成SiC超细粉的工艺条件。使用FE-SEM和XRD对合成的超细粉进行了表征。结果表明：硅碳摩尔比对SiC的合成有一定影响。1573K可以合成高纯SiC超细粉。适当延长合成时间有利于SiC超细粉的合成。FE-SEM和比表面积的结果表明，合成SiC超细粉的粒度在100nm以下。