【摘 要】
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本研究设计了一款采用硅基板作为载体的毫米波上变频SiP（System in Package）微系统模块。该模块利用类同轴TSV（Through Silicon Via）结构解决了毫米波频段信号在转接板层间低损耗垂直传输的问题。该结构整体采用四层硅基板封装，并在封装完成后对硅基射频SiP模块进行了测试。测试结果显示，在工作频段29GHz～31GHz之间，其增益大于27dB，端口驻波小于1.4，且带外
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本研究设计了一款采用硅基板作为载体的毫米波上变频SiP（System in Package）微系统模块。该模块利用类同轴TSV（Through Silicon Via）结构解决了毫米波频段信号在转接板层间低损耗垂直传输的问题。该结构整体采用四层硅基板封装，并在封装完成后对硅基射频SiP模块进行了测试。测试结果显示，在工作频段29GHz～31GHz之间，其增益大于27dB，端口驻波小于1.4，且带外杂散抑制大于55dB。该毫米波硅基SiP模块具有结构简单、集成度高、射频性能良好等优点。更重要的是，其体积不到传统二维集成结构的5%，实现了毫米波频段模块的微系统化，可广泛运用于射频微系统。
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