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用喷雾热解法制备TiO2超亲水薄膜.用X射线衍射和扫镜电镜测试所得样品的微观结构和表面形貌.深入探讨了喷雾热解法的成膜机理.在反应先驱体经过雾化、沉积、铺展、凝胶、成核以及生长等一系列过程后形成薄膜.在薄膜形成过程中,雾化液滴到达基板表面的分散度直接影响薄膜的微观结构.薄膜亲水性能测试结果表明:平整均匀的薄膜表面有利于水的铺展.