论文部分内容阅读
介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作，它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变，从而产生温度差，由这个温度差感应了加速度，倾斜、位置变化。这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成，腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件。为了实现这种加速度计，采取了微机械制作方法的前腐蚀工艺，把加速度计和伺服电路集成并封装在一起，测试了加速度效应。