【摘 要】
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用分子束外延生长了δ掺杂结构,并用电化学C-V和汞探针C-V测量了载流子的分布特性,其半峰宽约85(?)。δ掺杂用于AlGaAs/GaAs调制掺杂异质结,在77K具有较好的输运特性。
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【机 构】
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南京电子器件所 南京 210016
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用分子束外延生长了δ掺杂结构,并用电化学C-V和汞探针C-V测量了载流子的分布特性,其半峰宽约85(?)。δ掺杂用于AlGaAs/GaAs调制掺杂异质结,在77K具有较好的输运特性。
The δ-doped structure was grown by molecular beam epitaxy. The carrier distribution was measured by electrochemical C-V and mercury probe C-V. The half-width of the carrier was about 85 (?). δ-doping is used for AlGaAs / GaAs modulation doping heterojunctions and has good transport properties at 77K.
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