论文部分内容阅读
介绍中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室引进的国内首台激光直写系统的工作模式、基本结构、主要性能和应用范围等，并给出用这台设备已经作出的一些掩模图形的样品。
ISI-2802激光直写系统及其应用
【摘 要】
：
介绍中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室引进的国内首台激光直写系统的工作模式、基本结构、主要性能和应用范围等，并给出用这台设备已经作出的一些掩模
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
：
光电工程
【发表日期】
：
1997年S1期
其他文献
Dynasty700将先进的逆变技术的优势和高端交直流氩弧焊电源的特点相结合，以紧凑的结构提供卓越的电弧性能。
西宁市人均占有水量只有648m^3，是全国人均占有量的33％，因此，必须进一步改进供水体系配置，加强用水管理，加快推进节水型社会建设。本文重点分析了西宁市节水型社会建设的紧迫性和可
日前，中国北方发动机研究所签约天舟上元信息技术有限公司，双方将基于“天舟COMAN——多学科设计仿真集成管理系统”共同开发建设车用柴油发动机设计／仿真集成管理平台，以便对发
高质量的模具是生产高品质产品的关键，本文就人造玛瑙卫生洁具生产中模具制作的关键技术进行了研究，可供生产及科研单位参考。
本文依据因素与海拔高度的数学关系，分析了高原环境对产酸浓度，干吸塔填料量及转化热损失的影响程度，指出进行高海拔地区硫酸生产设计时必须考虑高原环境的影响。
EEDI是新船能效设计指数。船用柴油机作为船舶的心脏，其CO2排放将直接影响EEDI值。本文主要分析了EEDI对船用柴油机的影响，并提出船用柴油机应对EEDI的措施。
公道正派作为一种政治品质,是衡量组工干部是否具有坚强党性的重要标准。对己清正、对人公正、对内严格、对外平等,这是组织部门和组工干部公道正派的具体内涵和集中体现。组
文章根据交通部《建设低碳交通运输体系指导意见》和《建设低碳交通运输体系试点工作方案》提出的加快替代能源的维护应用的要求，苏汽集团经过反复调研和认证，推广使用了液化天
本文研究了坡向、坡位、植被盖度，坡度，海拔高度等立地土壤水肥综合指标间的定量关系，确定了将立地质量划分为五个等有的量化指标值，并对立地质量的贡献作了显著性检验，证明了本项