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微型泵是一种重要的微型执行器，在微流体供给和控制、微量元素分析、芯片冷却系统等方面将有重要应用。本文利用硅微细加工技术制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型结构设计及双向驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效率高和流量较大等特点。
双金属热致动微型泵
【摘 要】
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微型泵是一种重要的微型执行器，在微流体供给和控制、微量元素分析、芯片冷却系统等方面将有重要应用。本文利用硅微细加工技术制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型结构设计及双
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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