【摘 要】
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电子探针将高度聚焦的电子束聚焦在样品上,激发试样中某一微小区域,使其发出特征X射线,测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定性或定量分析。除H、He、Li、Be等几
【机 构】
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宝山钢铁股份有限公司研究院,上海交通大学材料科学与工程学院,
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电子探针将高度聚焦的电子束聚焦在样品上,激发试样中某一微小区域,使其发出特征X射线,测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定性或定量分析。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,电子探针都可进行定性和定量分析,在电子显微镜下把观察到的显微组织和元素成分联系起来,解决材料显微不均匀性的问题,是研究亚微观结构的有力工具。以电子探针在合金中析出物和夹杂物的一些表征工作为例,对其在此领域中的主要应用展开讨论,并对比其他电子显微方法总结电子探针的方法特点。
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