【摘 要】
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扩散硅电动差压变送器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型电动变送器,具有精度高、工作可靠、结构简单、体积小、重量轻等优点。本文主要介绍硅变送器的工作原理、性能特
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扩散硅电动差压变送器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型电动变送器,具有精度高、工作可靠、结构简单、体积小、重量轻等优点。本文主要介绍硅变送器的工作原理、性能特点、硅杯具体设计方法以及硅杯温度补偿的具体措施。
Diffusion silicon electric differential pressure transmitter is the use of monocrystalline silicon piezoresistive effect made of a new type of electric transmitter with high precision, reliable, simple structure, small size, light weight and other advantages. This paper introduces the working principle of silicon transmitters, performance characteristics, the specific design method of silicon cup and silicon cup temperature compensation of specific measures.
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