【摘 要】
：
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度
【机 构】
：
天津理工大学薄膜电子与通信器件天津市重点实验室,吉林大学超硬材料国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金(批准号:60576011);天津市自然科学重点基金(批准号:05YFJZJC00400,06TXTJJC14701)资助项目~~
论文部分内容阅读
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,金刚石膜晶形变为"菜花状",非金刚石碳的含量增加,膜的品质下降.在800℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,孪晶和二次成核减少,金刚石膜的结晶形貌得到改善.通过Raman光谱和EPR分析发现,在金刚石膜中氮杂质主要以Ns0,[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,而且随着氮气流量的增加,Ns0的含量增加,[N-V]0含量减少,[N-V]-1含量变化不明显.
其他文献
目的分析半月板周缘性脱位(radial displacement of meniscus RDM)与性别、年龄、半月板MRI分级、体重指数(body mass index BMI)、内外侧的相关性,分析不同胫股角(femorotib
目的:术中麻醉诱导期间易造成胃内进气,气体过多时可引发患者肺部不适、窒息等风险,所以降低胃内进气量可减少手术风险。本次研究通过超声实时监测通气前、后胃窦面积的变化
目的:分析McCune-Albright syndrome(MAS)患儿的临床特点,提高临床对于MAS患儿的诊治水平。方法:详细分析两例有典型三联征的女性MAS患儿的病史、临床表现、辅助检查及诊疗经
[目的]通过研究恒古骨伤愈合剂对于体外培养的人骨髓间充质干细胞的影响,来探寻恒古骨伤愈合剂治疗骨质疏松及骨质疏松性骨折的骨形成机制。同时,研究恒古骨伤愈合剂直接作用
目的:体内外观察葫芦素B(cucurbitacin B)对人乳腺癌细胞系MCF-7的增殖抑制和诱导凋亡作用,为临床应用提供依据。方法:用浓度分别为0.001、0.01、0.1、1、10以及100μmol/L的
最近几年,国内公募基金市场规模迅速扩张,投资者产生了新的投资需求。国内公募基金的数量于2016年6月已增加至3049只,不仅远超A股数量,而且其种类也越来越丰富。在股票基金、
反渗透海水淡化在各类淡化技术中迅速崛起得益于压力能回收装置的发展.从该类装置的结构、原理、能量回收效率、设备维护和使用寿命等方面分析比较了国内外各类装置的性能,对
嫁妆是夫妻共同财产,抑或是女方婚前个人财产?我国婚姻法及债法没有明文规定,司法实践中也无准确定性,造成司法不统一。而目前,随着经济快速增长和人们生活水平的日益提高,父
集安市地处长白山南麓,独特的气候条件使这里成为'东北小江南',也富集了人参、葡萄、五味子、林蛙、蜂产品等丰饶的东北特产,这些特产已成为当地致富转型的'金疙
[目的]1.探讨分析进行性脊髓髓外受压脊髓损伤以及脊髓损伤加重的危险因素;2.分析激素在脊髓受压脊髓损伤手术患者中的应用价值;3.为临床上椎管内脊髓压迫性病变患者的治疗和