【摘 要】
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采用聚对二甲苯（Parylene C）作为结构材料，借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列．微电极直径为80μm，引线线宽40μm，电极间距为280μm，引线间距为80
【机 构】
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上海交通大学生命科学技术学院,上海交通大学微纳科学技术研究院,上海大学纳微能源研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划“973”资助项目（2005CB724305,2005CB724302）,中国博士后科学基金资助项目（20070410724）,上海市纳米专项（j852nm01700）,上海市科委国际合作专项（8160706000）,科技部国际合作项目（2009DFB60160）.
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采用聚对二甲苯（Parylene C）作为结构材料，借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列．微电极直径为80μm，引线线宽40μm，电极间距为280μm，引线间距为80μm．电极位点高度约为10μm，呈明显的圆滑凸起结构特征．电极和引线表面均平整光滑，轮廓清晰，结构完好．阻抗测试结果表明：随着频率的增加，凸起微电极的阻抗呈下降趋势，显示出明显的高通特性；1kHz时凸起微电极的阻抗约为10kΩ，较具有相同基底面积的平面电极约低30％，有助于提高电极的信噪比，可望用于视网膜
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