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为促进表面等离子体谐振（surface plasmon resonance, SPR）测试技术在片上的实现，提出硅基近红外SPR芯片，由硅微棱镜、金属膜和聚合物微流体通道组成．利用有掩膜和无掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为25．24。的单微硅棱镜阵列，用有掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为54．74。的双微硅棱镜阵列，利用聚合物的复制注塑技术加工得到微流体通道．在波长1550nm时进行仿真与实验测试，实验测得以空气、水和乙醇为测试介质的SPR角分别为16．75°、22．58°和22．72