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利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管.经扫描电子显微镜观察与分析,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列,管径较均匀且长度基本相同.
利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究
【摘 要】
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利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管.经扫描电子显微镜观察与分析,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列,管径较均匀且长度
【机 构】
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浙江大学物理系,杭州,310027日本三重大学工学部,津,514-8507;浙江大学力学系,杭州,310027;日本三重大学工学部,津,514-8507;
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2004年3期
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