论文部分内容阅读
从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发,详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。
硅电容式触觉传感阵列及相关技术
【摘 要】
：
从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发,详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。
【机 构】
：
东南大学,东南大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
1993年4期
其他文献
光纤陀螺技术发展迅速,估计在下一代先进的惯性测量装置中要使用它。概述了光纤陀螺的工作原理,并简要介绍了光纤陀螺用于试飞的情况,讨论了闭环干涉型光纤陀螺的工作过程。
本文应用直接耐晒翠蓝ＧＬ对接枝亚麻纱进行了染色工艺的研究，确定了最佳的染色工艺处方和工艺条件，实验结果表明，接枝亚麻纱不但原有挺括滑爽的风格，而且克服了亚麻纱染色上梁染率低
由按钮式主令信号给定器、速度跟随控制器及直联非接触式速差变送器组成新颖实用的染整电气传动控制 机关系亲善，可实现高精度、高可靠性、多功能的线速度跟随和比例跟随运行
硅片上熔区温度的检测,是实现SOI(Silicon-on-Insulator)材料结构的区熔再结晶(ZMR)工艺的技术关键,也是技术难点之一.提供了一种适用于特定实验环境(高频、高压、高温)的具
InSb磁敏电阻及传感器是磁敏元件与传感器的主要品种之一。对这类元件及传感器的工作原理、结构和性能等分别作了简要介绍。其中有分立型磁敏元件,磁敏无接触电位器、旋转传
在九十年代第一年,“八·五”计划第一春到来之际,为了进一步认清形势,明确方向,加快前进步伐、特邀请部分有关领导与专家举办了这次“九十年代传感技术展望”笔谈会。
概述了传感器测量领域目前存在的困难和局限性，论述了模糊传感器研究的意义，综述了国内外模糊传感的研制现状，并对其发展进行了展望。