Hydrogen Gas Sensor Based on Nanocrystalline SnO2 Thin Film Grown on Bare Si Substrates

来源 :Nano-Micro Letters | 被引量 : 0次 | 上传用户:haohade
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In this paper, high-quality nanocrystalline SnO_2 thin film was grown on bare Si(100) substrates by a sol–gel method. A metal–semiconductor–metal gas sensor was fabricated using nanocrystalline SnO_2 thin film and palladium(Pd)metal. The contact betwee
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