【摘 要】
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通过测量软X射线相位型和振幅型聚焦波带片的一级衍射强度,实验得到了自行研制的两种相位型软X射线聚焦波带片的相对衍射特性.测量实验装置简单,调节相对容易.选择合适的针孔
【机 构】
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中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230026
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通过测量软X射线相位型和振幅型聚焦波带片的一级衍射强度,实验得到了自行研制的两种相位型软X射线聚焦波带片的相对衍射特性.测量实验装置简单,调节相对容易.选择合适的针孔大小可使得接收信号有足够的信噪比.对波带片聚酰亚胺衬底的厚度进行了归一化.分别将3个镍和锗波带片的一级衍射强度与金波带片进行了比较.在3.2nm工作波长,研制的镍、锗软X射线相位型波带片的平均一级衍射效率分别是软X射线振幅型金波带片一级衍射效率的1.60和1.26倍,与理论值1.77和1.34很接近.测试结果表明,我们制作的相位型波带片具有较高精度.
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