单电子晶体管及其工艺制作技术研究

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单电子晶体管是晶体管的主要形式之一,本文深入的分析了单电子晶体管的工艺制作技术,并对提升单电子晶体管运行质量的具体方案进行了分析研究,对提升单电子晶体管的运行质量,具有十分重要的意义。
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