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通过对硅片加工过程中的高温退火、切割、研磨、化学腐蚀、抛光等工序工艺过程的研究，找出了影响MEMS用硅抛光片应力参数的关键工艺，表明通过调整关键工艺参数，能够有效地控制MEMS用硅抛光片的应力参数。
MEMS用低应力硅片的研制
【摘 要】
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通过对硅片加工过程中的高温退火、切割、研磨、化学腐蚀、抛光等工序工艺过程的研究，找出了影响MEMS用硅抛光片应力参数的关键工艺，表明通过调整关键工艺参数，能够有效地控制ME
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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天津科技
【发表日期】
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2008年2期
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