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介绍了一种石墨舟高频热处理技术，它通过去除液相外延舟内的杂质，降低了外延片杂质浓度，从而获得高质量的外延芯片，为制备高性能器件打下良好的基础。
石墨舟高频热处理技术
【摘 要】
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介绍了一种石墨舟高频热处理技术，它通过去除液相外延舟内的杂质，降低了外延片杂质浓度，从而获得高质量的外延芯片，为制备高性能器件打下良好的基础。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年6期
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