纳米级MOSFET器件模拟的载流子输运模型

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：king_63427501

【摘要】

：

随着半导体微细加工技术的发展,预计硅SOC的集成度可达万亿个晶体管,单个晶体管的尺寸将达到10 nm范围内.因此从理论上研究纳米尺寸器件的性能和特性对发展超大规模集成电路

【作者】

：

蒲月皎刘丕均张亚非王印月

【机构】

：

上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室,上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室,兰州大学物理科技学院

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

输运模型载流子纳米级器件模拟超大规模集成电路 MOSFET器件微细加工技术纳米尺寸量子模型数值模拟模拟结果晶体管半导体集成度 SOC 硅

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随着半导体微细加工技术的发展,预计硅SOC的集成度可达万亿个晶体管,单个晶体管的尺寸将达到10 nm范围内.因此从理论上研究纳米尺寸器件的性能和特性对发展超大规模集成电路尤为重要.综述了纳米级MOSFET器件数值模拟的量子模型,以及在该模型下用到的几种载流子输运模型,并结合模拟结果对这一模型作了评价.

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